贴合式兆声清洗
头贴近被清洗物,清洗效率更大程度减少清洗液使用量清洗精度高,可去除0.2微米的污渍颗粒超低的声空化效应,不损伤器件表面石英或蓝宝石耦合技术,无杂质脱落风险腐性,可耐各种酸碱溶液及。
兆声清洗利用兆赫兹级别的超高频超声波能量推动基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清除更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。
贴合式兆声清洗头概述
槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大,可以大面积辐射兆声声场,从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀,距离换能器越远声强越弱,同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量聚焦在清洗物表面,从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布,且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量,对清洗液浪费较大,并且喷淋式兆声换能器面积较小,从而声能辐射面积较小,清洗速度较慢。
贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面,具有非常高的传递效率和声场均匀性,同时非常节省清洗液。
超声波清洗流程
一般来说,清洗的工艺流程依被清洗物体清洗的难易程度及清洗数量而决定。主要清洗流程如下:1)热浸洗或喷洗:目的是将工件上的污染物软化、分离、溶解,并减轻下道清洗工序的负荷。2)超声波清洗:利用超声波产生的强烈空化作用及振动将工件表面的污垢剥离脱落,同时还可将油脂性的污物分解、乳化。3)冷漂洗:利用流动的净水将已脱落但尚浮在工件表面上污物冲洗干净。4)超声波漂洗:溶剂为干净的清水,工件浸入后,利用超声波将浮在工件各边、角及孔隙处的污物清洗干净。5)热净水及冷净水漂洗:进一步去除悬附在工件表面上的污物微粒。6)热风烘干:利用一定的温度和风速,使零件表面快速干燥。
超声波清洗应用领域
广泛应用于表面喷涂处理行业、机械行业、电子行业、行业、半导体行业、钟表首饰行业、光学行业、纺织印染行业。其他行业等,并由易净超声波清洗提供,具体如下:1、 表面喷涂处理行业:(清洗的附着物:油、机械切屑、磨料、尘埃、抛光蜡)电镀前的清除积炭、清除氧化皮、清除抛光膏、除油除锈、离子镀前清洗、磷化处理,金属工件表面活化处理等。不锈钢抛光制品、不锈具、餐具、刀具、锁具、灯饰、手饰的喷涂前处理、电镀前清洗。2、机械行业:(清洗的附着物:切削油、磨粒、铁屑、尘埃、指纹)防锈油脂的去除;量具的清洗;机械零部件的除油除锈;发动机、发动机零件、变速箱、减振器、轴瓦、油嘴、缸体、阀体、化油器及汽车零件及底盘漆前除油、除锈、磷化前的清洗;过滤器、活塞配件、滤网的疏通清洗等。精密机械部件、压缩机零件、照相机零件、轴承、五金零件、模具、尤其在铁路行业,对列车车厢空调的除油去污、对列车车头各部件的防锈、除锈、除油非常适合。
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