真空箱氦检漏基本功能
操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。工艺流程编辑A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；B1：若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；B2：若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测；C1：若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止；C2：若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
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氦检漏仪产品介绍
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用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s漏率显示的范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s启动时间： ≤5min响应时间： <2S检漏口： 300Pa极限真空： 5×10-4Pa外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）重量：46KG
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逆流氦质谱检漏仪
逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。漏孔可以将漏液以非常缓慢的速度送到泄漏处的表面，以致于液体在到达物体外部的表面时，即被蒸发。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
氦质谱检漏仪
充氦法
的整体检漏就是可以用这种方法，将放入大型环模室中，利用环模设备的真空系统将环模抽成真空，先用辅助泵进行粗抽和预抽，在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后，将氦气充入中，压力保持和工作的压力一致，开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器，就可以直接测量的漏率了。另外，工件水检后，外表面有水，需烘干处理，耗电多，耗费劳动力也多。
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以上信息由专业从事半导体氦质谱检漏仪价格的科创真空于2024/7/10 9:56:50发布
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