氦质谱检漏原理
氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15Pa•m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,在挡板的作用下,氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到,单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。耐压测试要求:一般两器在执行氦检漏之前会充注一定压力(一般不超过3。
氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性:
①氦气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,如果氦气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的氦气;
②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;
③氦离子荷质比小,易于进行质谱分析;
④氦气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;
⑤氦气无毒,不凝结,极难容于水。
今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!
充气开关柜检漏设备
由于工件内外压差不能大于0.04Mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。6、如果氦气浪费严重,可以将使用过程中浓度不合格的氦气进行提纯7、PLC控制,触摸屏操作,自动检测。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能,以及急停按钮,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全,系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式,以防止传感器失效而对系统造成的伤害。
结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统,分散与集中控制相结合,层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机,用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。
控制系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。
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氦质谱检漏仪
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,用这种技术检漏,简便易操作,仪器反映灵敏,精度高,不易受其它气体的干扰,以上列举的方法是检漏技术领域里经常用道的方法,包括了从小件检漏到大件检漏,从确定漏孔检漏到确定漏率检漏,比较的列举了各种检漏方法,相信在工程实际应用中有很好的参考价值。★真空箱门设安全光电保护装置,确保操作者安全★氦气示踪安全环保。
以上信息由专业从事电子器件氦检漏仪生产厂家的科创真空于2024/6/17 11:37:42发布
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