真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
真空泵开机前的检查工作
随着真空泵使用率越来越普遍，它的质量也是越来越高，由于它的特性优势被大家普遍使用，为了大家可以更好的应用，下面咱们了解下真空泵开机前的检查工作有哪些吧。
真空泵为确保真空负压站的正常稳定运行，延长设备的使用寿命，用户每次再开机前应进行一些开机检查工作，开机工作前需谨慎检查水泵的水循环的阀门是否打开。时刻检查真空负压站循环水罐里面的水量以及水的质量，需及时更换。检查外在线路是否全部连接，观察所有仪表是否在标注的位置。除了在每次开机前进行以上项目的检查外，每次使用中、关机还应该按照正确的流程操作，确保下次设备的正常。养成良好的习惯，有效减少设备故障率。
真空泵漏气怎么办
在日常的企业使用中，我们在使用水环式真空泵的时候有可能会出现漏气的现象，拧紧水环真空泵的所有联接螺栓，拧紧填料压盖，紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处，还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。轴承歪斜使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言，其轴向间隙不均匀，叶轮旋转时，必然会有一部分与侧盖摩擦，擦伤侧盖和叶轮端面，使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时，大量地泄漏到吸入腔里去，使真空度或排气压力降低。这时必须将水环真空泵的轴承拆下来进行修理，然后再进行正确地安装。
以上信息由专业从事干式真空泵厂家的凯德金科技于2024/7/7 9:20:13发布
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