概念
动态配气仪是利用连续稀释法将已知浓度的原料气,以较小的流量,恒定不变地送入气体混气模块中,再通过混气模块,同时将净化过的背景气体(通常使用高纯N2或Air)以较大的流量恒定不变地与原料气混合稀释。如系统使用一级配气,用户可直接输入流量输出值(可用的流量输出范围会在输入框上方显示,输入的流量不能超过这个范围)。稀释后的混合气连续不断地从混气模块流出供使用的配气设备。
准确计量原料气流和背景气流之比可得稀释倍数。混合气的浓度可简单地从稀释倍数计算出来,调节气流比可以得到所需浓度的标准气体。
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模式选择:
通过切换,选择浓度模式和流量模式两种基本控制模式。
浓度模式:用户根据自身配气需求,直接在输出设定中输入所需输出的气体浓度,并点击开始自动配出所需浓度气体。
流量模式:
用户通过每台MFC的手动流量设定,自行控制内部截止阀开关,进行自由设定,系统自动换算出当前输出气体浓度。、
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技术参数
◆ 四路进口质量流量控制器
◆ 仪器精度:±1%F.S。
◆ 稀释比为:300:1(流量范围、稀释倍数等根据用户要求可随便设计及装配)
◆ 输出流量:1000mL/min
◆ 流量线性误差:≤±0.5% F.S.
◆ 配气不确定度:≤±1% F.S.
◆ 预热时间:20min
◆ 环境温度:-20℃~+55℃
◆ 环境湿度:(15~85)% RH
◆ 大气压力:(86~106)KPa
◆ 电源电压:AC 220V±10% 50Hz
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以上信息由专业从事气体动态配气仪报价的晓韬科技于2024/6/18 11:44:43发布
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