右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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左侧选择框内为功能区
模式选择:
通过切换,选择浓度模式和流量模式两种基本控制模式。
浓度模式:用户根据自身配气需求,直接在输出设定中输入所需输出的气体浓度,并点击开始自动配出所需浓度气体。
流量模式:
用户通过每台MFC的手动流量设定,自行控制内部截止阀开关,进行自由设定,系统自动换算出当前输出气体浓度。、
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多点动态气体配气仪
RM-002气体测试仪检定校准装置,是由从事近40余年气体标准物质研究、气体计量器具国家计量技术法规制修订、并在本行业有丰富经验的构思、选材及参数设置和定量;由从事多年仪器仪表、计算机软件研发的设计和装配。如系统使用一级配气,用户可直接输入流量输出值(可用的流量输出范围会在输入框上方显示,输入的流量不能超过这个范围)。研发出的装置稳定性、重复性及线性,配制的标准气体准确、可靠,易于量值传递和溯源,操作快捷,使用方便。
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以上信息由专业从事标准气体稀释装置价格的晓韬科技于2024/7/14 11:02:28发布
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