应用行业
可广泛应用于气体浓度传感器、校准、测试研究,在新材料及特种材料的研究及制备方面,多配套于CVD使用,等离子刻蚀、催化评价、脱硫脱销、气体焊接等设备中也大量配套使用,大量在环保行业中干扰实验——动态混合矩阵实验法中使用,主要是对气源CO2、SO2、N2进行动态混合配比,为试验提供一定流量范围或浓度范围的混合气体。低浓度的标准气体的制备方法,通常分为:静态分配和动态分配方法。
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参数
流量输出:0-10SLM以上
仪器精度:±1%F.S(可选高配,为±1%S.P)
重复精度:±0.2%F.S(10SLM以上重复精度误差增大)
线性:±0.5%F.S(10SLM以上重复精度误差增大)
工作环境温度:5℃-45℃
预热时间:20min
稀释比:100:1(可根据客户要求订制)
晓韬科技致力于动态稀释配气仪等行业技术服务,晓韬科技竭诚为您服务!
右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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多点动态气体配气仪
RM-002气体测试仪检定校准装置,是由从事近40余年气体标准物质研究、气体计量器具国家计量技术法规制修订、并在本行业有丰富经验的构思、选材及参数设置和定量;由从事多年仪器仪表、计算机软件研发的设计和装配。研发出的装置稳定性、重复性及线性,配制的标准气体准确、可靠,易于量值传递和溯源,操作快捷,使用方便。功能2:如插入接口的U盘中有版本软件,系统会提示用户自动升级,允许用户远程界面升级。
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以上信息由专业从事气体流量配比仪厂家的晓韬科技于2024/7/21 8:48:53发布
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