流量控制器分类
热式质量流量器根据热源及测温方式的不同可分为接触式和非接触式两种。
1.接触式热式质量流量器这种质量流量计的加热元件和测温元件都置于被测流体的管道内,与流体直接接触,常被称为托马斯流量计,适于测量气体的较大质量流量. 由于加热及测量元件与被测流体直接接触,因此元件易受流体腐蚀和磨损,影响仪表的测量灵敏度和使用寿命。流量控制器特点1、稳定的流量供给,不受温度、压力变化2、宽量程比,可达100:13、高达0。测量高流速、有腐蚀性的流体时不宜选用,这是接触式的缺点。
2.非接触式热式质量流量器这种流量计的加热及测温元件都置于流体管道外,与被测流体不直接接触,克服了接触式的缺点。
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流量控制器的原理是什么?
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。
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可按设计或实际要求设定流量,能自动消除系 统的压差波动,保持流量不变。
克服系统冷热不均现象,提高供热(供冷)质量。
完全解决近端压差大,远端压差小的矛盾。
减少系统循环水量,降低系统阻力。
减少设计工作量,不需要对管网进行繁琐的水力平衡计算。
降低调网难度,把复杂的调网工作简化为简单的流量分配。
免除多热源管网热源切换时的流量再分配工作。
流量显示值均为测试台上随机标定,流量(m3/h) 。
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以上信息由专业从事热式质量流量计报价的厚礼博于2024/7/15 11:34:56发布
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