首先，浸泡过的无绒软布清洁;第二部用酒精清洁;第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。
第四步用高压低水气的气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。
短路及密封性检查：靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查，建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后，可以进行检漏检查，将水通入阴极确定是否存在漏水现象。
国内某公司产出的铜阳极泥高镍阳极泥镍含量高达45%左右，镍主要以NiO、NiO2、(Ni、Fe)3O4的形态存在。可供该公司选择并且在工业上成功应用的工艺流程仅有两种：一种是利用硫酸化焙烧蒸硒，酸浸脱铜和镍；另一种是利用加压浸出脱除镍铜，然后利用硫酸化焙烧蒸硒。9%的银锭，金泥中的铜、铅也同时回收(用湿法处理金泥有被推广的趋势)。这两种方法都需要硫酸化焙烧，处理过程中设备腐蚀严重而且会有SO2溢出，工作环境条件差。
弥散强化复合材料：在及其合金基体中，以弥散分布的化学和热力学稳定的高熔点或高硬度氧化物、碳化物，或具有特殊性能的微粒作为强化相的复合材料。通常，弥散强化相粉末粒度为0.01～0.1um，含量小于1％(体积分数)。弥散强化贵金属复合材料：在贵金属及其合金基体中，以弥散分布的化学和热力学稳定的高熔点或高硬度氧化物、碳化物，或具有特殊性能的微粒作为强化相的贵金属复合材料。在及其合金基体材料中弥散分布的不可变形的强化相微粒，阻止基体金属的位错运动，限制晶界移动和晶粒长大，使基体金属的再结晶温度、高温强度和抗蠕变性能明显提高；同时，由于强化相的加入量。
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