热板
温度:0~300℃温度稳定性:±1℃功率:850W台面大小:200x200mm
公司团队拥有丰富的经验和技术积累,持续将专ye知识与创新思维相结合,为客户提供高品pin质的解决方案。我们将始终坚持以客户为中心,不断挑战自我,不断追求卓yue,通过专ye、创新和合作,为客户创造更大的价值,共同kai创微流控领域的美好未来。
SU8模具制备流程
1.备片
从化学品存放区取出清洁的硅片(确保硅片表面无尘)。
2.匀胶
1)打开匀胶机,将硅片放置在匀胶机托盘上,打开真空开关,确保硅片固定在托盘上不动;
2)将SU8光刻胶滴在硅片中间,根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。(举例说明:目标胶厚度50um,光刻胶型号:SU8-2075,1段500转8s,2段1800转30s)
3.前烘
1)将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上,进行预热烘烤,去除光刻胶中的挥发性有机溶ji,时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um ,设置温度65℃,烘烤15min,然后温度95度,烘烤15分钟)
4.曝光
1)将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。
2)使用相应的掩模(掩膜)放置在硅片上进行曝光,曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置曝光能量25mw/cm2,时间12s)
微流控芯片加工设备: 提供丰富多样的微流控芯片加工设备,涵盖SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作,从而提高实验效率和灵活性。
耗材
光刻掩膜板
菲林掩膜板适用于制备线条宽度较大的结构,通常在20微米以上。这种掩膜板制备简单,适合制备相对宽大和较粗糙的图案。然而,由于其分辨率有限,无法满足制备细致微结构的需求。因此,对于需要制备线条宽度大于20微米的简单结构,菲林掩膜板是一个合适的选择。
玻璃掩膜板适用于制备线条宽度小于20微米的精细结构,以及需要多层对准的情况。玻璃掩膜板的制备工艺更加复杂,但由于其高分辨率,能够实现更细致、更精que的微结构。特别是在需要制备复杂多层结构且对准精度要求较高的情况下,玻璃掩膜板具有明显优势。
在选择掩膜板类型时,应根据所需制备的图案特性、线条宽度以及对制备精度和复杂度的要求进行权衡。菲林掩膜板适用于相对简单的结构,而玻璃掩膜板则更适合制备更细致和复杂的微结构。综合考虑制备目标和技术要求,选择适当的掩膜板类型将有助于确保制备过程的成功和效率。
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,坚持以客户为中心,不断挑战自我,不断追求zhuo越,通过专ye、创新和合作,为客户创造更大的价值,共同kai创微流控领域的美好未来
以上信息由专业从事微流控光刻机公司的顶旭于2024/7/15 10:23:57发布
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