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安徽桌面光刻机性能信息推荐「顶旭」

来源:顶旭 更新时间:2024-05-15 08:55:45

以下是安徽桌面光刻机性能信息推荐「顶旭」的详细介绍内容:

安徽桌面光刻机性能信息推荐「顶旭」[顶旭60ca79e]内容:

桌面光刻机

曝光光源:紫外LED光源波长:365nm;曝光面积:4英寸、6英寸可选;曝光方式:单面接触式定时曝光;曝光分辨率:2um;曝光强度:20~200mW/cm2可调;曝光不均匀性:≤5%;光源平行性:≤2°;光源寿命:≥20000h;电源输入:AC220V±10V,50HZ功率:250W重量:25kg外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %

显微镜

观察头:铰链式三目观察头,30°倾斜,瞳距48~75mm目镜:超大视野目镜 10X/22无xian远平场消色差物镜:4X/0.1,10X/0.25,20X/0.4,40X/0.65转化器:四孔转换器载物台:载物台面积300×268mm,移动范围250×250mm焦距调节:同轴粗微动调焦机构,行程24mm照明系统 :6V20W卤素灯,亮度可调滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片

微流控芯片加工设备: 提供丰富多样的微流控芯片加工设备,涵盖SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作,从而提高实验效率和灵活性。

耗材

光刻掩膜板

菲林掩膜板适用于制备线条宽度较大的结构,通常在20微米以上。这种掩膜板制备简单,适合制备相对宽大和较粗糙的图案。然而,由于其分辨率有限,无法满足制备细致微结构的需求。因此,对于需要制备线条宽度大于20微米的简单结构,菲林掩膜板是一个合适的选择。

玻璃掩膜板适用于制备线条宽度小于20微米的精细结构,以及需要多层对准的情况。玻璃掩膜板的制备工艺更加复杂,但由于其高分辨率,能够实现更细致、更精que的微结构。特别是在需要制备复杂多层结构且对准精度要求较高的情况下,玻璃掩膜板具有明显优势。

在选择掩膜板类型时,应根据所需制备的图案特性、线条宽度以及对制备精度和复杂度的要求进行权衡。菲林掩膜板适用于相对简单的结构,而玻璃掩膜板则更适合制备更细致和复杂的微结构。综合考虑制备目标和技术要求,选择适当的掩膜板类型将有助于确保制备过程的成功和效率。

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光刻胶SU-8是一种常用的负性光刻胶,通常由环氧树脂和光敏剂组成,它具有许多优点,使其在制备微结构和器件方面成为理想的选择:

高分辨率:SU-8光刻胶具有出色的分辨率,可以制备细致的微结构,适合制作小尺寸线条和微细图案。

粘附性强:SU-8光刻胶在许多基片表面具有良好的粘附性,可以在不同材料上制备微结构。

厚度可调:SU-8光刻胶可以通过多次涂覆和光刻来控制厚度,适用于制备不同厚度的微结构。

化学稳定性:SU-8光刻胶具有较高的化学稳定性,可以耐受许多溶剂和化学物质,适用于各种应用环境。

热稳定性:SU-8光刻胶在高温下具有较好的稳定性,适用于需要高温处理的制备过程。

多层光刻:SU-8光刻胶可用于多层光刻制备,能够实现更复杂的微结构和器件。

应用广泛:SU-8光刻胶在微流体器件、生物芯片、MEMS、光学器件等多个领域中得到广泛应用。

顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业。提供丰富多样的微流控芯片加工设备,涵盖SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作,从而提高实验效率和灵活性。

以上信息由专业从事桌面光刻机性能的顶旭于2024/5/15 8:55:45发布

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