广州潽拓光电科技有限公司——inficon检漏仪调试氦质谱检漏仪维修
氦质谱检漏法利用氦质谱检漏仪的氦分压测量原理，测量被试件的氦泄漏量。如果被测零件的密封表面有泄漏，则表明泄漏的氦气和其他气体已从泄漏处排出。泄漏气体进入氦质谱仪泄漏检测器后，由于其选择性检测能力，仅显示气体中的氦分压信号值。在获得氦气信号值的基础上，可以通过比较标准泄漏孔来获得氦气从泄漏孔的泄漏量。
根据泄漏检测过程中显示的泄漏气体位置与被测对象之间的不同关系，氦质谱泄漏检测方法可分为真空法、超压法、真空压力法和背压法。综述了这四种氦质谱检漏方法的检测原理。优点和缺点以及测试标准。
氦气易于弥散，且分子尺寸小，能够渗透到被测物体内或漏出到外界。因此，在使用氦质谱检漏仪时，将被检测物体充入氦气，并利用泄漏口外的吸气探头来探测泄漏气体中的氦气，通过光电倍增管检测氦气的信号强度，判断是否存在泄漏。
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氦质谱检漏仪的工作原理是利用氦气分子在真空中扩散的特性，通过将氦气注入被检测物体内部或周围环境中，然后使用氦质谱仪检测周围环境中是否存在氦气，如果存在，则说明被检测物体存在漏洞或裂缝。因为氦气分子非常小，能够穿过非常小的漏洞或裂缝，因此氦质谱检漏仪能够检测到非常小的漏洞或裂缝。同时，氦气是一种非常稳定的气体，不会与其他物质发生反应，不会对被检测物体产生影响。
质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了
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分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。氦质谱检漏仪
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广州潽拓光电科技有限公司是进口真空泵供应商,为客户24小时提供技术支持及售后维保服务，包括磁悬浮分子泵、高真空分子泵、分子泵、隔膜真空泵、涡旋分子泵，涡轮分子泵、超高真空泵、复合分子泵等。
除压力差外，利用气体分子密度降低、一些组分的减少可实现无氧化加热、脱气、热处理等，利用气压降低时气体的热传导及对流逐渐消失的原理可以实现真空隔热和绝缘，利用压强降低液体沸点也降低的原理可以实现真空冷冻、真空蒸馏、真空干燥等等。
氦质谱检漏仪机械泵故障及处理
1、机械泵不动作
检查项目有：氦质谱检漏仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。
2、机械泵声音异常
检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。
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以上信息由专业从事inficon检漏仪调试的潽拓光电于2024/8/6 6:59:22发布
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