潽拓——{精}，分子泵
广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——二手爱德华分子泵维修价格，分子泵
广州潽拓维修分子泵，爱德华Edwards Ext 75dx iso100复合泵维修保养
性能特点
兼容TIC涡轮仪表控制器。
多种通讯模式。
并口，用于传统控制信号接口。
串口，用于RS-232接口。
通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。
正常泵速显示。
准备转速显示。
泵温。
增强型泵速、功耗、温度监测。
潽拓——二手爱德华分子泵维修价格，分子泵
Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵
入口法兰尺寸 VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸 KF40
抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2>107
极限压力 10-6 Pa (10-8 Torr)
允许的前级压力 200 Pa
大气流 N2 *（仅水冷） 3200 sccm
(5.41 Pam3s-1)
大气流 Ar *（仅水冷） 1000 sccm
(1.69 Pam3s-1)
额定速度 36500 rpm
运转到 90% 额定速度的时间 <8 分钟
固定位置 任何方向
输入电压 200-240 V
大输入功率（不带 TMS） 750 VA
重量 45 kg
以上信息由专业从事二手爱德华分子泵维修价格的潽拓光电于2024/6/19 6:55:18发布
转载请注明来源：http://m.tz1288.com/qynews/gzptgd-2772124154.html
