潽拓——大阪磁悬浮分子泵kineTiG2205M,分子泵
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涡轮分子泵是一种真空泵它主要是通过高数旋转带动叶轮之后把动量传给气体而后排出气体实现真空作业的一个过程。既然是真空泵,必然会有常见的故障问题,主要的故障分别为:
1.分子泵的真空度正常,可以达到全速,但是噪音很大
2.油性棉花污染
3.分子泵无法启动
4.异物进入分子泵
当工艺环境中有大量灰尘或异物进入分子泵时,加速旋转的叶片和转子产生极大的损害。建议关闭并立即将其送修。
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广州潽拓光电科技有限公司,公司所生产的日本大阪涡轮分子泵,涡轮分子泵、干式真空泵、以及各种低真空泵、各种真空成膜装置、大阪真空是以涡轮分子泵为主业的国际真空制造商。结构为卧式,泵腔内装有动、静叶列,气体由位于泵中央的吸气口进入,经抽气通道流至泵体两侧,被叶列压缩终由排气口排出。
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大阪涡轮(复合)分子泵用途半导体制造电子排气,日本OSAKA大阪真空泵维修,离子源排气FRD制造表面处理,表面改质各种电子部件的制造分析,试验装置管球制造,光学部件制造,线设施,核聚变研究热处理研究开发※排放腐蚀性气体时,日本OSAKA大阪真空泵维护,请选择耐腐蚀性的TG-M,日本OSAKA大阪真空泵,TG系列。
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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。当当前级压力升至1Pa时,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无法正常工作。
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以上信息由专业从事大阪磁悬浮分子泵kineTiG2205M的潽拓光电于2024/7/22 9:49:47发布
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