广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵清洁保养 阿尔卡特涡轮分子泵维修
涡轮分子泵可短时承受大气的冲击,并有启动快、制动快、比较洁净的优点。这种泵特别适用于在大排气量下工作,压力为 10-Pa 以上时泵的排气量几乎是定的,这时只与前级泵的大小有关;在这个范围内可忽略抽速的不稳定性和润滑油的返流影响。这些特性恰好是油扩散泵所不具备的。这一特点,对于要求先抽到高真空,然后再在以压力为 0.1~1Pa的真空系统内以连续气流工作的溅射薄膜沉积来说是十分重要的。阿尔卡特涡轮分子泵维修
在这个特殊管道中,蒸汽经过喷嘴的出口到扩压器入口之间的这个区域(混合室),由于蒸汽流处于高速而出现一个负压区。此处的负压要比工作蒸汽压强和泵出口处所能承受的大压强(反压强)低很多。阿尔卡特涡轮分子泵维修
此时,被抽气体吸进混合室,工作蒸汽和被抽气体相互混合并进行能量交换,把工作蒸汽静压能转变来的动能传给被抽气体,混合气流在扩压器扩张某而产生正激波,波后的混合气流速度降为亚音速,混合气流的压力上升。亚音速的气流在扩压器的渐扩流动时是降速增压的。混合气流在扩压器出口处,压力增加,速度下降,而后从压出口排出。故喷射泵也是一台气体压缩机。阿尔卡特涡轮分子泵维修
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵清洁保养 ALCATEL 5011分子泵维修
复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件,其自身的几何参数在影响抽气性能的同时也影响检漏仪的检测性能。基于分子泵抽气基本理论,建立了复合分子泵牵引级的计算模型,通过改变螺旋升角、ALCATEL 5011分子泵维修 ,牵引槽深度和转子与定子的间隙,分别计算了复合分子泵牵引级对氦质谱检漏仪涉及到的2种气体——空气和氦气在不同工况下的抽气性能,研究了复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。
一、真空泵正常运转使用时,每三天对以下内容进行一次点检:
A、泵油是否在游标范围以内
B、泵油是否有变黄变黑、混浊现象
C、声音是否出现异响
D、真空泵运行时是否出现漏油
分子泵的部件是旋转叶片和固定叶片。旋转叶片的转速达1800~90000rpm,叶片端的速度达数百m/s,接近分子的平均速度,通过和气体分子的碰撞将气体分子搬运到排气口。当对向设置的旋转叶片进行高速转动时,气体分子从吸气侧运动到排气侧的几率是A,气体分子从排气侧反向运动到吸气侧的几率是B。旋转叶片撞击气体分子,气体分子碰到固定叶片之后再次飞向下一个旋转叶片,终被弹向排气口,使得A>B,实现排气功能。
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵清洁保养 分子泵养护
半导体器件的生产制造工艺极其复杂,需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作,例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护
罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器,用于真空泵的噪声治理。分子泵养护
转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作,可采取更有效的冷却方法,即将转子用循环油冷却,在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入,经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外,还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好,泵在运转时转子温度低于外壳温度,大泵常采用这种方式。 分子泵维修,例如在80Torr压差下工作时,罗茨真空泵转子温度较外壳低78度,同时还发现泵负荷越重时,则间隙越大,这是因为转子用油冷却,温度比壳体低,负荷越大,壳体膨胀越厉害,轴间距加大,所以间隙会增大。
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以上信息由专业从事阿尔卡特进口分子泵清洁保养的潽拓光电于2024/5/19 8:00:17发布
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