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给出不单独设置粗抽管道、不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。从结构上看，系统也变得更简单了。它没有粗抽阀、管道和冷阱，也不需要高真空阀，只需要一个电离规和一个热传导规。
每当打开真空室暴露大气时，就必须把整个系统停机，而后再重新启动。这就使得液氮冷却表面使用起来不方便，因为每当系统停机时，必须将冷却表面升温。1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2 不用阀门的涡轮分子泵抽气系统同时，启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选配前级机械泵。
如果机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到很大转速以前把真空室抽到过渡区的。当出现这种情况时，电动机的过流保护电路就会把涡轮分子泵关掉。抽速大小合适、运转适当的机械真空泵应该是在涡轮分子泵达到其额定转速的75%左右时就能把真空室抽到20~200Pa，这样也可防止机械泵油的返流。大多数涡轮分子泵所设计的启动加速时间为5~10min。
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脉冲激光沉积系统PLD客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统
1.系统功能：主要用于Mn氧化物等复杂材料膜。
2.涡轮分子泵真空度要求:真空度
3.样品尺寸:6英寸
4.基片旋转,加热温度：750℃
5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式
真空系统配置:超高真空系统配置:涡轮分子泵400
接口:DN100CF-F
极限真空:
氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80
接口:DN63CF-F
极限真空:
氮气压缩比:>1X1011隔膜泵MVP040
口径:G1/4”
极限真空:≦5mbar
抽速:2.3m3/h
涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>
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有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？原因：防护网，前级管道解决方法：优化系统设计6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？原因：油池或密封不良解决方法：检查油池7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形原因：过热，负载大解决措施：检查冷却系，检查系统
分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等。
、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？答：①电压不稳②强干扰③高压打火④认为11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
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氦质谱检漏仪质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。氦质谱检漏仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。
同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵，以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。还可以使用app远程操控检漏仪，并实时监控检漏仪显示漏率。
无论是用于研发的灵活可靠的系统，还是用于常规工业真空加工的热处理系统，或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案，都可提供相应的解决方案。：氦质谱检漏仪中分子泵与油泵有什么区别？现今，越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十几年来，涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。
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以上信息由专业从事爱发科进口泵保养店的潽拓光电于2024/4/29 8:29:42发布
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