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天河区阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修了解更多「多图」

来源:潽拓光电 更新时间:2024-05-14 13:00:14

以下是天河区阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修了解更多「多图」的详细介绍内容:

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修 ALCATEL 5011分子泵维修

复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件,其自身的几何参数在影响抽气性能的同时也影响检漏仪的检测性能。基于分子泵抽气基本理论,建立了复合分子泵牵引级的计算模型,通过改变螺旋升角、ALCATEL 5011分子泵维修 ,牵引槽深度和转子与定子的间隙,分别计算了复合分子泵牵引级对氦质谱检漏仪涉及到的2种气体——空气和氦气在不同工况下的抽气性能,研究了复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。

一、真空泵正常运转使用时,每三天对以下内容进行一次点检:

A、泵油是否在游标范围以内

B、泵油是否有变黄变黑、混浊现象

C、声音是否出现异响

D、真空泵运行时是否出现漏油

分子泵的部件是旋转叶片和固定叶片。旋转叶片的转速达1800~90000rpm,叶片端的速度达数百m/s,接近分子的平均速度,通过和气体分子的碰撞将气体分子搬运到排气口。当对向设置的旋转叶片进行高速转动时,气体分子从吸气侧运动到排气侧的几率是A,气体分子从排气侧反向运动到吸气侧的几率是B。旋转叶片撞击气体分子,气体分子碰到固定叶片之后再次飞向下一个旋转叶片,终被弹向排气口,使得A>B,实现排气功能。

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修 分子泵养护

半导体器件的生产制造工艺极其复杂,需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作,例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护 

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器,用于真空泵的噪声治理。分子泵养护

转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作,可采取更有效的冷却方法,即将转子用循环油冷却,在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入,经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外,还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好,泵在运转时转子温度低于外壳温度,大泵常采用这种方式。 分子泵维修,例如在80Torr压差下工作时,罗茨真空泵转子温度较外壳低78度,同时还发现泵负荷越重时,则间隙越大,这是因为转子用油冷却,温度比壳体低,负荷越大,壳体膨胀越厉害,轴间距加大,所以间隙会增大。

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修 上海维修真空泵

分子泵转速过高,轴承磨损。这种情况主要集中在转矩和轴承两个部件上。转矩和轴承两个部件不稳定。这种情况主要集中在轴承磨损。分析原因有1)油棉变黑了,发黄,转速限定解决方法用电脑检测分子泵运行状态,可以判断出油棉变黑了。上海维修真空泵

对真空设备而言,非接触悬浮是很有吸引力的。电磁轴承应用于涡轮分子泵,可实现分子泵的无油、无磨损运行,运行安静,振动ji小,尤其适合半导体工业等超净高真空应用场合。上海维修真空泵

还有一种冒烟的原因就是,真空泵在使用了一定的时间后,由于没有对泵做好日常的维护保养工作,使得排气口处冒出了油烟。这其实是真空泵的排气过滤器失效了,要知道的是,真空泵排气过滤器,是一个属于耗材料类配件,在真空泵里面起到油气分离作用,可以防止真空泵油随着尾气排出真空泵泵体。把过滤下来的真空泵油沉淀下来回流到油箱里,当排气过滤器失效时,排气过滤器就起不到过滤作用。上海维修真空泵

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修 高真空分子泵维修中心

了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 高真空分子泵维修中心

冲击性检测对一批泵在运作和非运作标准下开展一系列检测,证实泵的耐冲击性。每一个泵遭受30–120g的瞬时速度,等同于从82公分/32英寸高坠落(处在非运作情况的泵)和从15厘米/6英寸高坠落(处在运作情况的泵)。在泵处在竖直、水准和倒立起来情况时,各开展6次冲击性检测所检测的泵在24次坠落后无一切难题(不产生转子机械设备触碰,泵运作情况不会改变)。在每一次坠落后认证泵的不平衡,结果显示转变很小,远小于阀值。高真空分子泵维修中心

留意:

工作温度:风冷式需低于32℃;水冷散热能致40℃

通道气体压强:强制性风冷式<0.1Pa;当然风冷式<0.01Pa。

广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修 高真空分子泵维修中心

以上信息由专业从事阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修的潽拓光电于2024/5/14 13:00:14发布

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