广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵保养咨询 Alcatel ATH1600M分子泵维修
Alcatel ATH1600M法国阿尔卡特磁悬浮分子泵维修,Alcatel ATH1600MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN200ISO-K/DN200CF,出气法兰口DN40 ISO-KF,抽速可达到1400 L/s,极限压力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,转速为15000-39000rpm,阿迪克森ATH1600MT磁悬
真空泵维修中,一般会接到以下几个故障案例:①会出现真空泵无法启动;②真空泵达不到极限真空;③真空泵的抽速太慢;④真空泵工作中的温度过高;⑤真空泵的噪音过大;⑥真空泵漏油。本文主要来详细分析下真空泵无法启动这一个问题,用过真空泵的用户应该都会知道,使用真空泵的过程中,如果长期未使用或者出现故障时都会导致真空泵无法正常启动,例如,启动一下就会突然停下了,甚至都启动不了。Alcatel ATH1600M分子泵维修
真空泵机械选择:
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵维修
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵保养咨询 分子泵升级改造
旋片泵为双级结构,是由高压级与低压级二部分组成,它的吸入口与真空容器或真空设备连接,在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时,高压级排气阀片将封闭,高压级吸入的气体将转送到第二级,并经第二级吸入与排出,这样真空设备可获得一定的真空。根据用户使用情况,可配备真空增压泵,将该泵做为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,能使设备获得更高的真空。分子泵升级改造
真空泵抽不出液体
1.没有灌注液体。解决方案:重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解决方案:消除杂物
3.吸入管或真空泵内没有排净气体。解决方案:检修吸入管路并排净气体
4.吸上高度超过允许范围。解决方案:按允许吸上高度重新按装真空泵
5.压出管路太细,管路损失太大。解决方案:换适合的压出管路
6.使用扬程超过了设计扬程。解决方案:重新选真空泵
7.输送热的、挥发性的介质。解决方案:降低吸程或采用倒灌按装。
8.转向反了。解决方案:纠正转向
压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。 泵对氢的压缩比很小,一般为1000左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为110-7Torr(13.33Pa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为110-10Torr(13.33nPa)。由于氢是超高真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。分子泵升级改造
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵保养咨询 阿尔卡特真空泵维修
真空泵用的行业比较多,如医院里的消毒柜、啤酒行业、罐装饮料等地方。真空泵的形式比较多,一种是水环泵(以水位介质循环的),另外一种是干泵,像螺杆泵、罗茨泵。水环泵也叫粗泵,因为它对介质的要求比较广泛一些。像螺杆真空泵、罗茨泵,在电子行业用的比较多。阿尔卡特真空泵维修
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。半导体的各种生产工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,因此对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。在半导体生产制造工艺中,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备等。阿尔卡特真空泵维修
众所周知,腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的,温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。
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以上信息由专业从事阿尔卡特进口分子泵保养咨询的潽拓光电于2024/7/19 7:41:44发布
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