半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
厂家分享气体混合物的典型用途用于。一种混于空气中的低浓度被用于肺的扩散实验。氧气与不同百分含量的二氧化碳的混合物，可用于血液分析气体分析器的校准。、氧化亚氮和某些化学性质活泼的气体，能单独和作为混合物用来作用。
用于核技数。0.95%异丁烷与氦的混合物和1.3%的丁烷与氦的混合物都被人们用来作盖格计数管用气体。0.4%异丁烷与氦的混合气和10%的甲烷与的混合物都用作比例计数器用气体。
用于电子元件的制造。含微量掺杂物化三氢，或等的气体。例如：氢气、氦气、气或氮气等气体，用来制造硅半导体。高度净化的氨的混合物用来作渗氮用。，无论是纯的还是在混合物中都可用于硅的沉积。和上述混合气之一相似的混合气体、若化三氢和的含量高，通常用来制造稼半导体。
高纯氙气分享压缩气体、液化气体都有热膨胀的特性，尤其是液化气体，严禁用任何手段给气体加热，避免高温、阳光直射、储存场所要阴凉要有通风设备，瓶装压缩气体不能超压充装，液化气体要严格按照充装系数充装，气体的充装量可在气体出厂时附带的合格证上查到。
气体避免接触火花、电流、电弧、必要的还要加装防静电装置，氧化性气体避免接触油污、材料、使用管道要彻底无油，有毒气体使用时不可放在屋内，要有专门的气体放置区，腐蚀性气体要避免人员接触，气体储存区要严禁明火、严禁吸烟。气体和氧化性气体使用时使用人员千万不可自己混合，如需混合气体需有技术条件的厂家来提供。
以上信息由专业从事乙烯厂的中原海于2024/5/14 12:29:32发布
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