半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
近年来，随着我国集成电路、液晶显示器、太阳能电池、半导体、光纤光缆等行业的高速发展，特种气体作为这些产业重要的原材料之一，我国滞后的国产高纯氙气、高纯气（纯度在99.999%以上）六氟化硫等成为外资挟制中国制造业发展的软肋。
国产高纯氙气广泛用于电子、电光源工业、焊接切割行业、深度剂，X光摄影的造影剂等。用氙气充填的灯泡与相同功率的充灯泡相比,具有发光率高、体积小、寿命长、省电等优点。由于它的透雾能力特别强常用作有雾导航灯，广泛用于机场、车站、码头。氙气灯凹面聚光后可生成2500℃高温可用于焊接或切割难熔金属如钛、钼等。在医学方面，氙气是一种没有副作用的深度剂X光摄影的造影剂。
混合气体揭秘气体传感器的工作原理 PID光离子化传感器
PID是由离子室和紫外灯光源等组成的。在离子室里存在着正电极和负电极，就可以产生电场，当被测的气体在紫外灯的照射下的时候，就会被离子化，然后形成正离子和负离子，这个时候在电极之间就可以产生电流，接着通过放大输出信号。这种气体传感器具有很多优点：安全又可靠、不会发生的现象以及灵敏度很高。
红外式传感器
它是根据各种不同的元素对某个特定的波长的吸收这个原理工作的，它的优点有：反应很灵敏、抗性很好以及对很多的碳氢化合物都有相应的反应。缺点是：成本较高和结构较复杂
气相色谱中常用的载气有：氢气、氮气、氦气、气和空气。这些气体除空气可由空压机供给外，一般都由高压钢瓶供给。通常都要经过净化、稳压和控制、测量流量。
气相色谱仪如何选用不同气体纯度的气源做载气和辅助气体，虽然是一个老的技术问题，但是对于刚刚接触气相色谱仪的用户，目前很难找到有关这方面的综合资料，所以他们总是到处询问究竟选择什么样的气体纯度好的这类问题。
选用气体的纯度要求达到或略高于仪器自身对气体纯度的要求即可，这样既可以达到工作要求，又能延长仪器的寿命，还不至于增加仪器的运行成本。
以上信息由专业从事液化甲烷的中原海于2024/7/1 5:56:11发布
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