具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。一般洁净室高度控制在2.60米，对个别较高的设备可在局部加高，而不宜提高洁净区的高度。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面，每一方面的标准达到了，车间净化工程才算是成功的。
洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装的插座、开关、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封，且器械柜中的各种管道和箱体之间也都必须采用可靠和有效的密封措施。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工质量，如板材与板材之间应均匀涂密封胶，达到严密不漏风。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。在实际施工中，净化项目通常分为，分工和分时。 这种安排有利于各种和工作类型的管理。 但是，易于进行多尘和无尘的交叉操作，应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免，应该防止灰尘和有效清洁。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着方向发展，对净化车间的依赖度也越来越高。
以上信息由专业从事食品无尘车间的合肥汇诚于2024/7/10 7:42:55发布
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