具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。 净化工程所特别设计的房间简称为：洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等，主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等，施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工质量有认识，否则，施工质量很难得到保障。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工质量，如板材与板材之间应均匀涂密封胶，达到严密不漏风。
洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料，不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也必须符合国家有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。而随着净化技术的发展，建设净化车间的技术含量也越来越高，非人士不能也。除了在生产领域，净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合，为人们提供更洁净的生活空间净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。
以上信息由专业从事车间净化工程装修的合肥汇诚于2024/7/11 12:05:18发布
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