大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
常见废气处理设备部件：1、燃烧设备燃烧装置是废气处理设备的设备，起着至关重要的目的;主要是利用燃烧反应，对废气和空气燃烧，把废气分解成二氧化碳、水或固体氧化物等，来达成vocs废气处理问题。2，收集装置收集装置是构成循环系统的一部分，将vocs废气收集、检测等工作;减少废气中粉尘，防止粉尘堵塞吸附设备。步是将vocs废气收集排入至废气处理设备内部进行燃烧处理，在废气进入燃烧室时，会进行废气检测;将不溶解的vocs废气，从设备的顶部排出去。
有机废气处理装置过滤或除尘器:含尘气体进入除尘斗后，由于气流截面的突然膨胀和气流分布板的作用，在动力和惯性力的作用下，气流中的一部分粗颗粒沉降在除尘斗内;尘粒与细粒度和小密度进入除尘器,和灰尘沉积在过滤材料的表面通过布朗扩散和筛滤的联合行动,以净化气体进入空气清洁室,这是通过风机由排气管排出。工业废气处理环保设备是环保行业非常重要的一个方面，尤其是在工业发达的今天，任何企业几乎都会跟环境挂钩，需要处理废气的环保设备。
不同生产工艺的企业产生的废气成分也是不相同的，例如包装印刷或者机械设备厂，产生的就是截然不同的废气，对于不同的行业，不同的加工处理工艺，所采用的废气处理设备也是不相同的，针对工厂排放不同的废气。废气预处理的好坏将直接影响到末端治理的效果。多级干式过滤技术、喷淋吸收技术、冷凝降温除湿技术等废气预处理技术不断发展，其它如除漆雾、除焦油等净化技术成为企业发展的技术之一。有机废气分子需要有特定波长的光的特征吸收光谱才能产生光化学反应。此外,物质是辐照的时间越长,越光解的影响,所以使用紫外线灯消毒柜,消除细菌有很好的效果。
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