用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
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氦气检漏的主要参数及优势
1、关键零部件全球集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；
2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；
3、特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；
4、实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；
6、可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；
7、定制的的密封接头，稳定可靠，减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势，希望对您有所帮助！
氦气怎么检漏？
利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件，氦气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。氦质谱检漏仪在钢瓶生产厂家被广泛应用，正压模式，其工作原理如下：氦气充入被检工件压力只要1。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。看到这里大家得注意，氦气的价格不菲，进行一次氦气检漏的费用自然不低。
氦气怎么检漏，氦气检漏就是利用了氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。检测时首先探测到氦气的点，得到氦气的水含量，再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氦检漏有两种工艺，一种是背压法，另一种则是真空箱法。
氦质谱检漏法
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。（2）真空行业，仪器、仪表行业管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加1速器、医用加1速器、辐照加1速器、镀膜机、薄膜真空计。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
以上信息由专业从事汽车空调检漏回收系统的科仪创新真空于2024/5/13 12:21:17发布
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