真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。现代的检漏方法如果被测工件不适合与水接触,或者检测环境中存在温度的影响,或者被测工件是弹性体而导致无法使用水泡法和压降法检测时,采用氢气检漏法是一种性价比较高的选择。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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如何正确使用氦气检漏设备?
为了正确使用氦气检漏设备,在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。如果在填充前没有排空,试件中的空气将被挤压到几何空间的末端,氦气检漏设备中的气体不能进入该部分,因此潜在的检漏孔将仅释放空气,检漏设备不能检测到这些检漏孔。氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中,这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满,从而大大影响检漏结果。
氮气和氢气的混合气的用途
电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中,为减少电能消耗,降低成本,都在研发和使用各种混合气。由于氢分子移动速度要高于其他分子,因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体,可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。其间,以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法,因为选用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气,因为液氮来源不同,大多数质量较差,其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外,液氮多来源于化肥厂,供应上较严重,故成本也较高。
氢气检漏法在制冷、空调的应用和展望
今天,在世界各地许多制冷、空调客户正在使用各种不同型号的氢气检漏仪。氦质谱检漏方法(以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。基于其在处理环境中背景氢气浓度方面所拥有的特殊技术,氢气检漏仪具有非常可靠的敏感度和测量指示。氢气检漏仪可以为您带来传统检漏无法满足的更灵活的检漏解决方案。例如:客户可以先使用压降法检查是否存在泄漏,之后再使用氢气检漏仪查找出泄漏位置。客户也可以直接使用氢气检漏仪进行高灵敏的检漏以避免温度变化带来的对压降法检漏的影响。
以上信息由专业从事真空箱式氦检漏设备的科仪创新真空于2024/7/7 6:12:55发布
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