质量流量计产品特点
产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
质量流量计保修介绍
本设备质保1年。用户需要按照本说明书要求使用，产品不得遭受物理损害、污染、改装或翻新。用户收到产品后，有责任验收产品，并通过电话或电子邮件的方式及时通知本公司销售部有关收货情况。保修期内，产品必须由本公司或授权的服务中心修理，未经本公司同意擅自拆除设备外壳的，产品的保修无效。在保修期以内，提供免费维修。如果保修期过了，在维修前将会通知用户需要更换的部件及维修费用，维修后，在90天以内对修理的部分进行保修，保修件包括易损件。
质量流量计产品对使用气体的要求
要求气体必须洁净且没有颗粒物，没有液体。建议客户在上游气路中安装<30um的过滤器和干燥剂。输入的气体压力必须符合产品的耐压标准，不能超过该产品要求的较大压力，也不能低于流量控制的较低要求。用户有责任按照相关安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，由于不正确的使用所导致的损害本公司不承担任何责任。稳压电源必须按照要求配置，否则由此造成的损失本公司不承担。气路的连接，必须仔细的安装密封管件，确保所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。
以上信息由专业从事空气流量计厂家的科仪创新真空于2024/8/13 7:43:37发布
转载请注明来源：http://m.tz1288.com/qynews/keyichuangxin-2800810484.html
