氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
北京科仪真空技术有限公司生产氦质谱检漏仪,如您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询!
氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择
氦质谱检漏仪厂家的氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑:
(1)无害,不能对人体或环境造成伤害;
(2)质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;
(3)化学性质稳定,不会引起化学反应和易1燃易1爆;
(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。
氢和氦都是比较理想的示踪气体,空气中的含量少,质量轻,运动速度快,分子直径小,同等条件下,直线运动距离长。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。在实际使用中,也相对比较容易获取,可以大量使用。由于He具有无色、无臭、无活性、不可燃的特性,因此一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。
今天科仪的小编和大家分享的是氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询!
氦气怎么检漏?
利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体,氦气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件,氦气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。看到这里大家得注意,氦气的价格不菲,进行一次氦气检漏的费用自然不低。
氦气怎么检漏,氦气检漏就是利用了氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。检测时首先探测到氦气的点,得到氦气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氦检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。
真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。氦质谱检漏仪光无源器件检漏光无源器件是不含光能源的光能器件的总称。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹氦气,可以实现漏孔的准确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的氦气,可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高,可以准确定位,能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测,不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测主要应用于真空密封性能要求,但不带压工作的产品,如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
以上信息由专业从事SF6充气柜真空箱检漏系统的科仪创新真空于2024/7/18 10:20:45发布
转载请注明来源:http://m.tz1288.com/qynews/keyichuangxin-2787767673.html
上一条:细沙回收机报价服务介绍「多图」