真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。水压法对压力容器或密封装置进行试验时,先将容器或密封装置内部装满水,再用水泵向里注水,观察设备或密封装置周围有无水漏出。
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北京科仪真空技术有限公司(简称:科仪)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。氢气检漏法的基本原理氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏,称作氢氮混合气检漏法,或氢气检漏法。
如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。设备应适用气密性检测、应具有大漏判定功能,微漏定量检漏功能,工件泄漏总的判定功能,并能满足连续生产的需求,具有较高的自动化程度,操作简便、安全、可靠。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式,即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下:
在抽真空方式下,待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连,
待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待测器件容积较大,则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率)。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值,则必须等待整个测量系统的真空达到稳态,
氦气检漏仪进行氦气检漏方法操作:
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测;
2、插上检漏仪电源,关闭上部手动挡板阀,开启检漏仪总电源,此时,“放气”灯亮起,等待系统运行;
3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时,观察预置参数,应为10-15,一般取15,观察数值,应为10的-8至-9次方时,可以开始氦气检漏(等待几分钟);
4、按“检漏”键,缓慢开启顶部手动挡板阀,注意:检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏;
5、数值稳定后,先记录下来,这就是“本底”;
6、逐个将氦气充入焊缝,并封堵插入口,将数值变动记录下来。全部完成充氦气后再观察20分钟,看数值有无大的变动。
7、关机时,应先关闭上部手动挡板阀,然后开启放气键,关电源。
氢气纯度分析仪
可实时监测氢气、CO2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度;量程气进口只在置换时用,可实时调看供氢纯度或供CO2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空
工作原理:
仪器由特殊设计的风机,压差交送器及压差计组成,实际则是风机产生的压差,但由于此压差值与气体的密度有关,而气体密度又直接与气体的成分成比例,故只要测出风机压差就等于测出了气体密度,实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。
以上信息由专业从事板式换热器氦测漏系统的科仪创新真空于2024/7/20 6:28:02发布
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