真空镀膜信息推荐 菱威真空镀膜工厂[菱威纳米7b079ef]内容： 20世纪60年代美国联合碳化物公司推出了Parylene派瑞林系列新型高分子敷型涂层材料，由于其优异的阻隔性能在防潮、防霉、防盐雾的三防涂层材料领域得到广泛应用。派瑞林原料C型、N型、D型、F型、AF4型是派瑞林聚合物的新一代衍生物，包括苯环取代和亚取代两类， 氟原子的引入能够较好地改善薄膜的电学性能和热稳定性。Parylene系列衍生物的研究主要集中在单体环二体的合成方法及薄膜的特性研究，有关薄膜制备方法的报道较少，曾有采用液态前驱体进行薄膜制备的文献报道。
原子层沉积是在一个加热反应器中的衬底上连续引入至少两种气相前驱体物种，化学吸附的过程直至表面饱和时就自动终止，适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉积的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金属，碳化物，复合结构，硫化物，纳米薄层等。 中空纳米管，隧道势垒层，光电电池性能的提高，纳米孔道尺寸的控制，高高宽比纳米图形，微机电系统（MEMS）的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层，纳米晶体，ZnSe涂层，纳米结构，中空纳米碗，存储硅点涂层，纳米颗粒的涂层，纳米孔内部的涂层，纳米线的涂层。
派瑞林涂层薄膜的止回阀。微阀具有扭曲型的派瑞林涂层膜, 当有流体顺流时, 派瑞林涂层薄膜抬起, 允许流体通过; 当有流体逆时,派瑞林涂层薄膜封住了通道阻止其流动。该结构的微阀顺流冲破压力小于0. 5 kPa, 逆流的制止压力达600 kPa以上, 同时具有较低的反向泄漏, 性能非常好。由于派瑞林涂层较小的杨氏模量, 产生了较大的变形, 基本可以忽略由薄膜引起的流体阻抗。单通道常闭微止回阀, 整个微阀和微通道都是由派瑞林涂层 C制成的, 其结构为在圆形阀座上的一个圆形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的顶部中心, 由于大气压强使子腔压缩到底部, 从而获得微阀的闭合模式。这种新型的子腔结构是通过没有层结构的释放和在真空条件下派瑞林涂层薄膜的气相沉积来实现的。通过减小密封板和阀座的重叠面积和溅射金属金来减小静摩擦力, 从而减小顺流冲破压力。此种结构的微阀的顺流冲破压力为20～40 kPa, 在逆流压力为270 kPa也不会出现可见的泄露现象。
Parylene涂层也用于硅橡胶键盘。Parylene涂层也用于硅橡胶键盘，防止印刷图案，抵抗表面磨损，解决粘性问题，同时保护键盘免受污垢，灰尘和油污。所施加的膜具有高介电强度，并且不损害下面的橡胶组分的电绝缘性能。Parylene提供无细孔，防止潮湿，腐蚀性体液，常见气体，抑菌和温度。增加涂层厚度可进一步提高化学耐受性和耐溶剂性，而不会增加重量或实质上影响基板的弹性。此外，聚对二薄膜可以除去硅橡胶的粘性，使硅橡胶表面更润滑，改变硅橡胶按键的手感。由于厚度薄，聚对二薄膜是透明或接近透明的，对按键的外观和尺寸没有影响。
以上信息由专业从事真空镀膜的菱威纳米于2024/5/19 6:11:56发布
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