采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。
Parylene 具有高度惰性与高纯度特点,且介电常数和介电损失都很低,由于涂层纯度高,水汽渗透率低,无离子污染 ,因此不受潮气的影响。由于 Parylene 的固化是自动生成的,并在沉积前就完成了,因此基体不会涉及到薄膜涂层的固化应力、溶剂溶解特性及沉积温度高低的限制等问题。
方面的应用主要是涂敷Parylene以后,在产品表面形成的薄膜具有生物相容性和隔离润滑性等特性,这对导尿管、针头、骨骼假体、心脏起搏器、窥视光学镜头的生产具有重要而深刻的意义,足以引起国内行业的一场工艺革命。它对人体血液没有影响,且具有抗生物腐蚀能力,已经通过美国和食品管理局 ( FDA) 认可,可长期植入人体。
派瑞林(Parylene)可以增加铁氧体等磁性材料的介电性及耐高压性能,可以克服普通环氧树脂喷涂等其他涂层工艺处理后不耐磨,不耐酸碱等方面的严重缺陷。其工艺特点:派瑞林(Parylene)涂层物料经蒸发室汽化后进入裂解室后裂解为气体,气体进入沉积室,通过沉积室,即物体表面均匀包覆所述派瑞林层。派瑞林(Parylene)真空气相沉积工艺和磁体覆膜工艺,降低磁体表面的氧化能力,提高磁体的抗蚀性,相比电镀磁体工艺,该镀膜工艺使磁通损失率降低至现有覆膜工艺的50%,且降低了毛坯生产的成本。从而降低企业生产成本,提高产品性能。以上信息由专业从事磁性材料镀膜的菱威纳米于2024/5/12 7:01:40发布
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