本系统实现多张测量板同步测量,测量板可以任意对应一张扫描板或者对应多张扫描板,应用灵活。
一种多通道数字输出模块 具体实施方式 [0028]在本实施方式中,驱动电路包括场效应管,场效应管的栅极接隔离器,源极为输出端接入插座P4,源极接24V电源,同时栅极通过电阻R17也接24V电源,场效应管的栅极与源极之间还串接有保护二极管,保护二极管实现对场效应管的过压保护。[0029]具体的,场效应管采用QS6K21FRATR系列,其在隔离器无信号传递过来时截止
提高精度的方法是:1,Hp,Lp,Hc,Lc尽量接近DUT;2,减小测试电流Ix的回路面积&磁通量(关键是分析Ix,要配合使用Guard与Cable小化回路面积);3,使用Gurard与Cable构建地平面中断信号线间的电场连接,虽然会增加信号线的对地电容(对地电容不影响测试结果),但是会减少信号线的互容。Guard与Cable的对地寄生阻抗(Zhg,Zlg)不影响测试结果,电桥平衡时Zlg的两端电压是0,流向Rr的电流不会被Zlg分流,Zhg的分流作用不影响Hp的电压测量。探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关可搭配Probe card测试适用领域:晶圆厂、研究所、高校等半自动型chuck尺寸800mm/600mmX,Y电动移动行程200mm/150mmchuck粗调升降9mm,微调升降16mm可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6~8颗显微镜X-Y-Z移动范围2'x2'x2'科迪仪器科技(苏州)有限公司科迪仪器科技(苏州)有限公司以上信息由专业从事测试机供应商的科迪仪器于2024/5/12 6:52:17发布
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