吉安1260液相设备厂商信息推荐「科鲁斯特」[科鲁斯特cf59fa1]内容:可兼容常规和超液相色谱:1260 Infinity II 四元泵和 1260 Infinity 二元泵能够在高 600 bar 的压力下运行,非常适合用于 InfinityLab Poroshell 120 色谱柱分析型和半制备型纯化:1260 Infinity II 四元泵的宽流速范围(高 10 mL/min)完全支持标准应用和半制备型应用快速、的梯度:1260 Infinity II 二元泵是使用 LC/MS 以及仅 UV 的系统实现快速而的梯度的佳选择
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低温硅液相外延:低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中,由于新的溶剂(主要是Ag,Au及其合金)不断发现,大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上,Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值,而当生长温度低于500℃时,Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。
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LPE的硅外延层,以其良好的电学、光学及其生长特性,而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前,取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1] .场控制器件:CVD在硅器件的埋结制造中,因自掺杂而出现埋层尺寸增加,密排栅极叉指制造也受到严重影响,而LPE因其可以消除自掺杂,而在这方面得到应用,尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造,其优点更为明显 [1] .
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以上信息由专业从事1260液相设备厂商的科鲁斯特于2024/7/17 7:28:56发布
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