标准气体的概念理解
1、定义:标准气体是带有证书的具有计量溯源性的一种或多种准确特性量值,用于校准仪器, 评价测量方法或给物质赋值的气体。
2、特性:
1)稳定性:在规定的时间间隔和环境条件下, 标准气体的特性量值保持在规定的范围内的特性、标准气体的稳定性表现在气体对气瓶和阀门不产生吸附和反应, 气体组分之间不发生化学反应。
2) 均匀性:均匀性是物质的一种或几种特性具有相同组分或相同结构的状态、标准气体的均匀性表现在不同温度和压力下各组分的特性量值在规定的范围内。气体组分不分层,无液化。
3)准确性:是指标准气体具有准确计量的标准值。其量值可以溯源。
其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
以上信息由专业从事标准气体生产商的珂锐弘扬于2024/7/15 11:05:35发布
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