气体管道工程泄漏检查的方法有哪些？
气体管道(gas pipeline)包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。
Ai级试漏
对气路严重泄漏的粗略观察。气体管道安装在实验室设计领域中，实验室供气系统的规划设计是相当重要的。通常在气源打开并稳定之后，不应听到气路流经的各管路及阀件接头处有丝丝的跑气声，如听到明显的漏气声，说明系统有大漏!必须依据漏气声，追查出泄漏处，并加以排除。引起系统大漏的常见原因是：气路接头没上紧，气路中管路开裂及没加合适的垫片等。查找气路的严重泄漏，也可在流 路的流量开到顶值时，用肥皂水在各接头逐步测试有无气泡出现而加以证实。
B级试漏
对气路中轻微漏气的检查。方法是堵住气路出口，观察气路中流量计内的转子。如果能缓缓下降为零，即可认为此气路B级试漏合格。如转子不能降到零，可用肥皂水在各接头处仔细观察。直到找到泄漏处为止。
C级试漏
对气路中极i小漏气的检查。5、易i燃气体（如乙i炔、氢气等）需要和其它气体分开，单独引入。方法是堵住气路出口，观察系统压力表，不得在半小时之内有5kPa(相当于0.05kgf/cm2)以上的下降。此时系统压力应在0.25MPa(相当于2.5kgf/cm2)以上。必要时可在系统出口处外接一个0.5级标准压力表来读取压力变化数。
在证实气路系统有泄漏时，可用分段堵住或关闭气路的方法来缩小漏气发生的范围。绝大多数的漏气点都发生于气路接头处，而气路阀件内部的泄漏也时有发生，至于管路中间的泄漏，除了急转弯处以外是很少见的。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。（6）管道敷设要求①输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。
不同气体配管要求
腐蚀性能较强的气体时，须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则，管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑，严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔，从而污染输配的纯净气体。
大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊时组织不发生变化。（5）空瓶与实瓶分区放置，气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。含碳过高的材料在焊接时，受焊接部位的透气，使得管内外气体的相互渗透，破坏输送气体的纯度、干燥度和洁净度，导致我们的各项努力全部失去意义。
以上信息由专业从事气体管道公司的珂锐弘扬于2024/4/28 6:59:04发布
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