净化工程技术对精密机械和精细化工的意义:
随着科学技术的发展,许多工业产品的生产加工对生产环境中的粉尘浓度提出了极高的要求,要求生产环境具有一定水平的洁净空气,控制生产过程中所需的各种相关物质的供应质量。比如在胶片制作中,如果胶片被灰尘污染,感光乳剂就会被氧化,活性减弱,pH值发生变化,从而影响胶片的感光性能。
净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的,但在满足工艺要求的条件下,也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出,但作为一般原理,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。
硅片直径为100um,温升1度,上升0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,湿度也要求值一般较低,因为人在出汗,产品会有污染,特别怕大半导体车间,车间温度不应超过25度,湿度高的问题较多。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露,如果在精密设备或电路中发生,会引起各种事故。当相对湿度为50%时,容易生锈。
障碍物会使单向流变成湍流,从而在障碍物周围形成气团。 人类的运动也会使单向流动产生湍流。在这些湍流中,由于风速较低,空气的稀释程度较低,导致污染浓度较高。因此,净化工程风速必须保持在0.3m/s~0.5m/s(60ft/min~100ft/min)的范围内,以便中断的单向流能够迅速恢复,并充分稀释障碍物周围湍流区的污染。单向流可以用风速来正确表示,因为风速越高,房间越干净。而每小时换空气的次数与房间的容积有关,比如吊顶的高度,所以不适合单向流动。单向室的空气体积是紊流室的许多倍(10到100倍)。
以上信息由专业从事结净层流罩原理的雨诺净化于2024/7/19 8:55:10发布
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