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国产气体流量积算仪品牌中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于低值(0.1?MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于高值(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定。

1. 在同样温度条件下，该装置不需冷却介质；

2. 安装方便，无须外加管道及电子线路系统；

3. 可直接读出瞬时流速值（或累积总量）；

4. 热式气体流量计能远距离输送气体并对环境适应力强，易实现集中供气。

热式气体流量计的工作原理是基于卡诺循环定律。热电偶的两条支路中有一个为高温区，另一端则通常与低温处接触而成冷线（或称“测点”）；当流经热电极的物质进入检测器后会因受热产生相应变化，由此在传感器上引起输出信号改变。在一个密封管路中，装有两种或者多种不同温度和压力下测得的饱和蒸汽（或空气）混合物。当通入第三类型流体时产生了相变化而被输送至远离阀出口处的另一端；这样；就使液体沿着与大气连接好的导向管道进行循环运动。

当这两个RTD放置在被测气体中时，传感器T1被加热到气体温度以上的恒温差，另一个用于感应被测气体温度的传感器T2。随着气体质量流量的增加，气流带走了更多的热量，传感器T1的温度下降。

为了保持T1.T2的恒温差，T1的加热功率将增加。根据热效应的金定律。当移动气体分子撞击热电阻时，吸收并带走热量。流量越大，接触热电阻的分子越多，吸收的热量越多。热吸收与某一气体的分子数、热学特性和流动特性有关。加热功率P.温差△T与质量Q确定的数学关系。

与其他气体流量计不同，热气体流量计不需要压力和温度校正，直接测量气体的质量流量，是真正的直接质量流量计，传感器可以实现从极低到高的范围。