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质量流量控制器出现流量偏差的解决方法；

一、0点是否有漂移

首先需接通电源，质量流量控制器信号为0的情况下，则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号；

二、气体是否纯净

如果盘路有污染，那么流量就肯定会收到影响，这个时候可以用高纯N2多次清扫，如果还是不能解决则需要找维修中心接受A/S；

三、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力

如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程。

半导体流量显示仪选型工作原理：将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表，设定电位器，内设、外设转换和三位阀控开关等。

1. 在同样温度条件下，该装置不需冷却介质；

2. 安装方便，无须外加管道及电子线路系统；

3. 可直接读出瞬时流速值（或累积总量）；

4. 热式气体流量计能远距离输送气体并对环境适应力强，易实现集中供气。

热式气体流量计的工作原理是基于卡诺循环定律。热电偶的两条支路中有一个为高温区，另一端则通常与低温处接触而成冷线（或称“测点”）；当流经热电极的物质进入检测器后会因受热产生相应变化，由此在传感器上引起输出信号改变。在一个密封管路中，装有两种或者多种不同温度和压力下测得的饱和蒸汽（或空气）混合物。当通入第三类型流体时产生了相变化而被输送至远离阀出口处的另一端；这样；就使液体沿着与大气连接好的导向管道进行循环运动。