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质量流量控制器出现流量偏差的解决方法；

一、0点是否有漂移

首先需接通电源，质量流量控制器信号为0的情况下，则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号；

二、气体是否纯净

如果盘路有污染，那么流量就肯定会收到影响，这个时候可以用高纯N2多次清扫，如果还是不能解决则需要找维修中心接受A/S；

三、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力

如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程。

紧凑型质量流量计选型的主要的优点：

（1） 直接测量气体的质量流量

热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无需进行换算。

（2） 无可移动部分

本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。

（3） 可以的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。

如果流动条件可以估算出来，那么就可以在与操作条件不同的条件下对流量计进行校准，估算流动条件所采用的参数通常为关于该流量计入口直径的雷诺数。在一定精度等级范围内，标准差压流量计的雷诺特性是众所周知的。同样，某些种类的涡轮气体流量计的特性也是已知的。在某些情况下，有必要在进行终校准之前行几次测试以该流量计的运行情况是否符合雷诺定标系数。