真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵:利用低温表面捕集气体的真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。
真空度低,这不仅是因为受到结构上的限制,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000Pa。处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示“差”的意思。真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。
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