于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。

质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；氦质谱检漏方法以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种。

漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。

氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；使用氦气喷在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；。