漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。对检漏方法的要求：能定位、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。

检漏步骤为: 若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。

因此,电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高，氦质谱正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气,置入封闭容器中,将封闭容器与氢质谱检漏仪连通，待氦质谱检漏仪指示可检时,被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。氦质谱负压检漏法，将被检件装在氦质谱检漏仪上，对被检件抽真空，当达到检漏仪的开检压力后，对被检件漏点处喷氦气，氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室,氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率

检漏仪调成真空模式，对检漏仪和机组进行连接，开启检漏仪，当真空度达到检漏仪开检压力后，对机组可能的泄漏点吹喷氦气，当氦气泄漏量达到检漏仪设定的报警值时，检漏仪报警。吹喷氦气时应当注意以下几点:从机组的下方到上方，靠近检漏仪处到远离检漏仪处逐步喷吹。检出大漏后要经过修补再检小漏。当存在两个邻近的漏孔时，盖住其中- -个漏孔再检测另一个。当喷吹某点时，检漏仪显示值有变化但较为缓慢，表明邻近的其他地方有较大泄漏。检漏场地应有良好通风，但不影响喷出氦气的气体流向。 总结:氦质谱检漏仪在化锂吸收式制冷行业广泛应用以后，使制冷机的寿命有着明显提高，保证了化锂制冷机15年以上的使用寿命