氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。

油箱试验件的细漏漏点采用正压法检测。试验时，向油箱 试验件内部充入氦气和压缩空气的混合气体，使油箱内部压力大于外界大气压，如果有漏点存在，氦气就通过漏点泄漏出来，用吸***进行探测，就能确定是否存在泄漏。检测过程要保证在吸***上加罩盒。一是为了防止环境中氦浓度过高，影响检测;二是为了防止一大片的漏点同时泄漏，不能检测到漏点的确切位置及单个漏点的漏率。检测时，吸***要沿着漏点缓慢移动，以便能够检测出漏源的准确反应值。

氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。