氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。

氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；

真空检漏的具体方法 检漏步骤为: 1.用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，第-遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。 2.不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。

采用试验件对机翼整体油箱漏率进行摸索，整体油箱试验件检漏总体上分为两个部分: -是粗漏漏点检测与工艺修补;二是氦质谱细漏检测,粗漏检测过程涉及的主要设备有压缩空气气源、自动配气平台、控制阀等。试验时，首先接通压缩空气气源，启动整体油箱快速检漏设备，设定充气气压。充气过程结束后，稳压15min, 观测检漏设备上的压降曲线，确定是否存在粗漏。若压降明显，说明有粗漏漏点存在。经肥皂泡方法确定粗漏漏点位置后，利用涂密封胶的方法对粗漏漏点进行工艺修补，重复检测修补后，至油箱试验件在规定时间内的压降符合技术要求后，可以进行氦质谱细漏检测。