氦质谱检漏仪是如何工作的? 氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的, 我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。 在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東，并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有-定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。

航天技术的不断发展， 泄漏问题已经成为航天产品设计制造中必须考虑的关键因素，越来越多的收到各方关注，相关电子元器件漏率检测已经引起科研人员的高度重视，目前应用检漏技术的主要是为密封继电器、集成电路 外壳。.利用氢质谱检漏仪可以方便地对密封继电器作漏率测定。针对不同的产品，采用合适的检漏方法。目前密封继电器的漏率检测主要是GJB360A-96的112实验程序。

氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。