对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。

检漏步骤为: 极限压力、升压率都不合格 这种情况通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的较大漏点，检漏步骤为: . 1.用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍，会很快发现漏点，这时发现的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。 2.第二遍检漏，进行第二遍检漏时速度要较遍慢些， 重点检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。

通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开- -缝隙，充入氦气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升,那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。

仪器工作在稳定的状态，在仪器的检漏口喷一定量的氦气， 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式，仪器再按开始键，记录清氦所需时间。而通过实验表明，利用氮气来清氦的效率是高的。 鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的***性，对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置，有效的避免了在检漏过程中，氦气残留对仪器检测灵敏度的影响，另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置，即仪器在检测到大漏时，仪器自动停止，防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择，利于对仪器的清氦，保证仪器检测的高灵敏度。