氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间快速发展起来的一种高精度检漏仪，其灵. 敏度高达10-15pa:m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦质谱检测技术以其灵敏度高、速度快、使用安全、适用范围广以及可以量化漏点的漏率等特点，在航空、航天、汽车和电力行业得到了广泛的应用，与其他诸多传统检漏方法相比，氦质谱检漏具有的技术***性。采用氦质谱检漏技术，可以实现飞机机翼整体油箱渗漏点的快速定位检测与修补，保证机翼 翼盒的高质量、率装配。

机翼整体油箱的密封是机翼翼盒制造技术中的关键，其密封性能直接影响~飞机的服役与安全。机翼整体油箱容积大、密封性要求高，传统的检漏方法采用气密试验和油密试验，这些方法存在精度低、成本高、定量困难、效率不高等缺点，而且进行油密试验需要向整体油箱中注入大量的航空煤油，在没有配备油密防爆厂房和油密试验台的条件下，存在巨大的安全隐患。 因此，急需一种检测精度和、的***泄漏检测技术来克服.上述困难，以提高整体油箱的制造水平和生产效率。