氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；

1.喷吹法检漏的原理 喷吹法检漏是利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，然后在被检产品外表面喷吹氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，检漏仪会报警并显示当前漏率值。 2喷吹法检漏的优点 1.检测灵敏度高; 2.定位准确; 3.对大容器或复杂结构产品的检漏可靠性高。

通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开- -缝隙，充入氦气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升,那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。

化锂吸收式制冷机是以热能为动力，水和化锂水溶液为工质对的低耗电，低噪音的环保型制冷机。利用水在真空状态下，较低温度就可以蒸发的原理，制取冷水。主要有蒸汽型，燃油型，高低温水型，高温水大温差型，冷温水同时供给型，广泛用于楼宇，制造行业的制冷采暖系统。 化锂吸收式制冷机对于机体内部气密性要求很高，若机体内部有微量的不凝性气体，会对机器性能产生严重影响。在制冷量严重降低的同时，容易对机体产生巨大的腐蚀，产生铁锈，铜锈并容易对喷嘴，泵体，过滤器造成堵塞。所以对于化锂吸收式制冷机来说，检漏是的。