氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。氦质谱检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；

检漏仪具备强的数据监控和存储能力，为了保证更好的操作效果和数据的保存能力，在这种氦质谱检漏仪的日常运转之中可以方便的将检测的数据输出并且进行查询，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。

氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将设备完全抽成真空状态，往往会增加测试用设备和设备工装。检漏过程中，如发现大量氦气进入质谱检漏仪，应立即移去，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。