氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不低于0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏仪启动时间：≤5min。响应时间：≤1s检漏口的。高压力：1500Pa。电源要求：220v，50Hz，单相，10A。工作环境：5-35℃氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。

检漏仪具备强的数据监控和存储能力，为了保证更好的操作效果和数据的保存能力，在这种氦质谱检漏仪的日常运转之中可以方便的将检测的数据输出并且进行查询，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。

氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将设备完全抽成真空状态，往往会增加测试用设备和设备工装。真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；冶金——真空电炉。设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。