气体的监测和分析是检查气体质量、确保用气点或用气设备能所用高纯气体的重要手段，也是保证安全生产的重要措施。高纯气体的监测与分析，只有采用***的分析方法和精密的分析仪器，才能获得精i确的分析数据。气体监测和分析的重要性随着晶片的几何结构缩小，集成电路集成度的不断提高，即使有极微量的气态杂质的沾污和的尘埃污染，也会给生产带来严重的破坏性。

工业气体—氟气氟气是一种极具腐蚀性的淡黄色双原子气体。氟是电负度强的元素，也是很强的氧化剂。在常温下，它几乎能和所有的元素化合，并产生大量的热能，在所有的元素中，要算氟活泼了。氟气(F2)是淡黄色的气体，有特殊难闻的臭味，剧i毒。在－188℃以下，凝成黄色的液体。在-223℃变成黄色结晶体。在常温下，氟几乎能和所有的元素化合：大多数金属都会被氟腐蚀，碱金属在氟气中会燃烧，甚至连黄金在受热后，也能在氟气中燃烧。

一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高。特种气体产销量虽小，但根据不同的用途，对不同特种气体的纯度或组成、有害杂质允许的i高含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求，属于高技术，高附加值产品。通常，可以将特种气体分为三类，即高纯或超高纯气体、标准校正气体和具有特定组成的混合气体。因为气体产品的应用覆盖面大，一般将气体的生产和供应与供电、供水一样，作为工业投资环境的基础设施，被视为国民经济“命脉”而列为公用事业行业。